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电子显微镜成像原理是怎样的?

2022-01-05 14:59:15 adminseo 9

电子显微镜,简称电子显微镜,是以电子束为光源,通过电子流传输或反射样品,经电磁透镜多级放大后在荧光屏上成像的大型仪器。经过50多年的发展,电子显微镜已经成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。电子显微镜技术的应用是以光学显微镜为基础的。


电子显微镜的成像原理是什么?电子与样品中的原子相互作用,产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号。电子束通常以光栅扫描模式进行扫描,并将电子束的位置与检测到的信号相结合以产生图像。


电子显微镜可获得优于1 nm的分辨率。样品可以在高真空、低真空、潮湿条件下(使用环境扫描电子显微镜)和大范围的低温或高温下观察。


最常见的电子显微镜模式是检测由电子束激发的原子发射的二次电子。可检测到的二次电子数量取决于样品的制图形态和其他因素。


通过扫描样品并使用特殊探测器收集发射的二次电子,创建了显示表面形态的图像。它还可以产生样品表面的高分辨率图像,并且该图像是三维的,用于识别样品的表面结构。


上述内容是对电子显微镜成像原理的介绍。电子显微镜是20世纪的一项重大科技发明。它是电子光学器件,利用电子与物质相互作用产生的信号来监测微区的晶体结构、微观结构、化学成分、化学键和电子分布。


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