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电子显微镜技术检测应用领域有哪些?(扫描电镜的应用)

2021-07-31 09:25:40 admin 13

     

蔡司显微镜

       电子显微镜,简称电镜,英文名Electron Microscope(简称EM),经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。

      目前,电子显微镜技术(electron microscopy)已成为研究机体微细结构的重要手段。常用的有透射电镜 (transmission electron microscope,TEM)和扫描电子显微镜 (scanning electron microscope,SEM)。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的,光学显微镜的分辨率为0.2μm,透射电子显微镜的分辨率为0.2nm,也就是说透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。

     与光镜相比电镜用电子束代替了可见光,用电磁透镜代替了光学透镜并使用荧光屏将肉眼不可见电子束成像。

     由于技术水平要求较高、资金/人才投入大等因素影响,全球电子显微镜参与企业较少。目前,全球电镜市场企业格局基本稳定,形成了赛默飞(含FEI)、蔡司、日本电子、日立高新、TESCAN、COXEM、中科科仪等。

蔡司显微镜

电子显微镜主要用于纳米级的样品表面形貌观测(活体除外)

例如:

一、电子半导体样品-焊锡球中裂纹、缺陷等检测方案:使用扫描电镜研究半导体和微电子设备时,需要尽可能的获取最全面的信息。因此灵活地选择和使用操作参数(加 速电压、样品倾斜, 扫描时间等), 以及采取正确的分析方法,都是非常重要的。(半导体和微电子设备中微观结构检测方案)


二、半导体材料中催化性能、氧化能力、稳定性检测方案:随着社会的发展以及人民生活水平的提高,空气污染、土壤及水 污染也日益影响着人们的身心健康。半导体因其在室温下就可以将许 多化学法无法去除的有机物完全降解为二氧化碳和水,且不产生二次 污染的光催化性能受到广泛关注。纳米级 TiO2半导体光催化剂因其价 廉、无毒、催化性能高、氧化能力强、稳定性好、易于回收等性质备 受科研爱好者的青睐。


三、电子背散射衍射技术、几何晶体学与材料科学运用方案:强调了EBSD技术研究晶体学问题的灵便性 , 探讨了几何晶体学、材料学基础知识的掌握对用好EBSD技术的重要性,特别是极图与矩阵运算应用的重要性及普遍性;提出将织构研究、相变晶体学研究、界面研究等各类晶体几何问题的简化及统一;简述了扫描电镜配置的发展趋势;分析了EBSD技术在我国推广中存在的一些问题及建议;并列举了一个用EBSD技术测定高锰钢中两种马氏体相变晶体学的例子。


随着对产品品质需求的不断提高,电子显微镜在各行各业需求也越来越多。在全球不多的几大巨头中,蔡司的电镜无疑排在前列,当然价格也很好看的。


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